羅茨真空泵簡稱羅茨泵，是一種無內壓縮的旋轉變容式真空泵，它是由羅茨鼓風機演變而來的。工業中常用的中羅茨真空泵有羅茨泵和油增壓真空泵。羅茨真空泵具有高效節能、低噪音、無泄漏、運行平穩等特點。

羅茨真空泵的分類如下：

　　1.羅茨泵(又稱真空泵)

羅茨泵由于工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式真宅泵和濕式羅茨泵，還有真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。近年來，羅茨泵應用非常廣泛。

羅茨泵是一種雙轉子的容積式真空泵，在泵腔內有兩個形狀對稱的轉子在泵腔內做同步相對旋轉，形成泵腔內容積的周期重復變化以達到吸氣和排氣的目的。轉子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉，由軸端齒輪驅動同步轉動。轉子之間彼此無接觸，轉子與泵腔壁之問也無接觸，其問通常有0．15～1．0mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。由于羅茨泵泵腔內無摩擦，轉子町高速運轉，一般為1500～3000r/min，無需用潤滑油，可實現較清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅限于軸承和齒輪，以及動密封處。

圖1 羅茨真空泵

　　羅茨泵有重量輕、體積小、低噪音、效率高、運行快，可抽除含有一定量的灰塵或冷凝物的氣體等優點，廣泛用于冶金、石油、化工、電子、紡織等工業中。羅茨泵在100～1Pa真空下有較大抽速，彌補了機械泵和蒸氣流泵在該壓力范圍內抽速小的特點，所以又稱為機械增壓泵。羅茨泵在真空工程領域中應用時，一般與前級泵串聯構成機組，在中真空范圍，作為機械增壓泵來應用；雙級或多級羅茨泵機組可獲得高真空；對于干式清潔無油的抽氣系統多用氣冷式羅茨泵機組；對于含水蒸氣的被抽系統，多用濕式羅茨泵。

　　2.油增壓真空泵

工作壓力范圍在10～10-2Pa壓力區間內，油擴散噴射泵有較大的抽速和較高的最大出口壓力，其抽氣量是擴散泵的4～20倍，加熱功率是擴散泵的2～5倍。油擴散噴射泵在1～0．1Pa下有較大的抽速，由于油擴散噴射泵的工作壓力范圍正處于油擴散泵和油封機械泵抽氣能力下降區域，可彌補真空泵和高真空泵在該壓力范圍抽速較小的缺點，因此，該泵除可以做主泵外，還常常用于大型油擴散泵和前級機械泵之間，保證真空系統的有效工作。

油擴散噴射泵對惰性氣體與其他氣體有相同的抽速，并有結構簡單、無機械轉動部分，便于操作、維護，壽命長等特點。油擴散噴射泵廣泛應用于真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空十燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設備上。